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真空快速退火炉（ZTH-FK320A）
真空快速退火炉主要用于半导体材料快速退火
产品介绍

真空获得设备
真空管路系统
主泵
前级泵
主阀
前级阀
电动旁路阀
手动旁路阀
分子泵
机械泵
闸板阀
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设备名称 真空快速退火炉（ZTH-FK320A）
用途
用于特种半导体材料快速退火
主要参数 1、 不锈钢真空室φ320X220；
2、 极限真空度3X10-5Pa；
3、 内置加热气，40段曲线温控，最高加热温度800℃；
4、 外置光学红外加热器，能量密度5W/cm2X2；

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