多功能镀膜机(FZJ-Z350A)

真空设备

多功能镀膜机(FZJ-Z350A)

多功能镀膜机主要用于实验室的磁控溅射(包括永磁靶、电磁靶)镀膜和蒸发镀膜。

产品介绍

设备名称	多功能镀膜机(FZJ-Z350A)
用途	主要用于实验室的磁控溅射(包括永磁靶、电磁靶)镀膜和蒸发镀膜。
主要参数	1、不锈钢真空室φ350X350； 2、工作真空度8X10^-4Pa； 3、永磁靶：φ50，靶高可调节，500W； 4、电磁靶：φ50，靶高可调节，500W； 5、气压控制：两路质量流量计； 6、观察窗：φ100； 7、基片台可加热：最高加热温度400℃；
设备特点	1、真空室上开式气动助力；

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