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主要系统
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装置
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选择项
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真空获得设备
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主泵
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分子泵；扩散泵；
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前级泵
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机械泵
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真空管路系统
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主阀
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闸板阀；碟阀；
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前级阀
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电动
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旁路阀
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电动；手动
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放气阀
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手动；电动
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主真空室
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真空室
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不锈钢；玻璃；
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升降
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电动；手动；
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照明
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可选；
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镀膜配置
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磁控溅射
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电磁靶；永磁靶；
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两组蒸发
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100A；70A；35A；
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挡板系统
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静挡板
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标准配置；用户定义；
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动挡板
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金属；玻璃；
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真空测量
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复合真空计；
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基片架
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是否可旋转
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电动；固定；
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基片加热装置
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无；有；
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膜厚监测
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膜厚仪
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无；有；
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惰性气体
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氩气压力控制
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手动；质量流量计；
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| 设备名称 |
多功能镀膜机（FZJ-Z280A） |
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用途
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实验室用多功能镀膜机
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| 主要参数 |
1、 空室φ267X500，玻璃钟罩；
2、 散泵极限真空度3X10-4Pa；分子泵极限真空度1.5X10-5Pa； |
| 设备特点 |
一个磁控靶，两组蒸发源 |
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