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| 激光化学气相沉积系统（HGX-240） |
| 激光化学气相沉积系统用于激光化学气相沉积 |
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产品介绍 |
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真空获得设备
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真空管路系统
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主泵
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前级泵
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主阀
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前级阀
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电动旁路阀
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手动旁路阀
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扩散泵
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机械泵
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闸板阀
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●
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X
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| 设备名称 |
激光化学气相沉积系统（HGX-240） |
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用途
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用于激光化学气相沉积
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| 主要参数 |
1、 真空室φ280X400；
2、 极限真空度3X10-4Pa；
3、 40段曲线控制仪表，最高加热温度900℃； |
| 设备特点 |
1、 真空室：240X240X240mm3；
2、 极限真空度6X10-5Pa；
3、 2维运动平台X方向运动行程10mm,Y方向运动行程30mm； |
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