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| 多功能镀膜机（ZSL-U560A） |
| 多功能镀膜机（ZSL-U560A）主要用于金属及非金属的蒸发镀膜。 |
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产品介绍 |
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真空获得设备
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真空管路系统
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主泵
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前级泵
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主阀
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前级阀
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电动旁路阀
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手动旁路阀
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分子泵
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机械泵
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闸板阀
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X
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| 设备名称 |
多功能镀膜机（ZSL-U560A） |
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用途
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金属及非金属的蒸发镀膜。
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| 主要参数 |
1、 真空室φ560X500，不锈钢钟罩；
2、 极限真空度3.0X10-5Pa；
3、 e型电子枪功率10KW；
4、 两组蒸发电极，功率：5KW；
5、 离子清洗；
6、 膜厚监测与控制； |
| 设备特点 |
7、 基片架旋转；
8、 真空室电动升降；
9、 观察窗透明与不锈钢双挡板； |
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